Mikrosystemtechnik im Studium an der OvGU

Der Lehrstuhl bietet ein umfassendes Lehrangebot im Bereich der Mikrosystemtechnik. Alle Lehrveranstaltungen sind sehr interdisziplinär, setzen jedoch überwiegend nur Grundlagen der Physik und teilweise Chemie und Mathematik voraus. Alle Module können in den Studiengängen der FEIT belegt werden, sind aber auch interessant für Studierende anderer Fachrichtungen, z.B. Maschinenbau oder Mechatronik. In den Masterstudiengängen Electrical Engineering and Information Technology und Medical Systems Engineering kann die Mikrosystemtechnik zudem als Vertiefungsrichtung ausgewählt werden.

Darüber hinaus freuen wir uns immer, interessante Themen für Abschlussarbeiten und Forschungsprojekte individuell abgestimmt auf die Interessen der Studierenden anzubieten, bei Interesse kontaktieren Sie uns bitte direkt.

Aktorik

Vielleicht das zentrale Erkennungsmerkmal eines Mikrosystems ist es, dass es sich nicht klassisch über Rotation, Räder und Achsen verformt, sondern über nachgiebige Mechanik wie Hebel, Biegen, Federn. Die Schwerpunkte liegen dabei in der Piezoaktorik, aber auch anderen Aktorprinzipien wie magnetische Aktoren oder elektroaktive Polymere. Vorteile der Piezoaktorik sind hohe Geschwindigkeiten und ein leistungsfreies Halten einer Position. Neben der hohen Integration in das Funktionsprinzip interessieren wir uns besonders für nichtlineare, multistabile Mechaniken sowie für Linearaktoren.

Optik

In Kombination mit der Aktorik verfügen wir über eine relativ ausgereifte Technologie zu adaptiven Linsen. Hier wird eine ultradünne Glasmembran direkt verformt, was neben hohen Geschwindigkeiten und geringen Abmessungen auch die Korrektur optischer Aberrationen (Abbildungsfehler) ermöglicht. Eine weitere Kompetenz sind schnelle, einstellbare Prismen und andere Elemente wie verformbare Spiegel und schaltbare Beugungsgitter. Für weitere Anwendungen gilt: Wir sind für alle Schandtaten bereit. Darüber hinaus interessieren wir uns auch für herausfordernde miniaturisierte optische Systeme, z.B. auf wenig Raum oder in schwierigen Arbeitsumgebungen oder zur Umsetzung neuer optischer Technologien.

Fluidik

Basierend auf unserer Expertise in Mikroaktorik ist ein neues Aktivitätsfeld die Mikrofluidik. Auch hier ist unsere Vision die Integration mit Aktorik, Optik und Sensorik. Ausgangpunkte sind hierbei neuartige Pumpen und Ventile.

Fertigungsprozesse

In der Mikrosystemtechnik sind Fertigungsprozesse ein integraler Bestandteil der Entwicklung eines Gesamtsystems. Denn selbst das spannendste Funktionsprinzip bleibt erfolglos, wenn es nicht praktisch umsetzbar ist. Da wir weniger auf der Mikrometerskala unterwegs sind, setzen wir hierbei nicht auf klassische Silizium-Mikrotechnik mit ihren aufwändigen Abscheidungs- und Ätzverfahren, sondern auf eine Kombination von Verfahren des Maschinenbaus wie Zerspanung und Abformung mit mikrotechnischen Verfahren und unkonventionellen Prozessen, wie z.B. die Nutzung von physikalisch oder chemisch induzierten Vorspannungen. Ein Schwerpunkt ist das Rapid-Prototyping, besonders die Laser-Mikrostrukturierung zum flexiblen und effektiven Ersatz aufwändiger Ätzprozesse.