Lehrveranstaltungen
Vorlesungen Bachelor:
Mikrosystemtechnik
Sprache: Deutsch | Arbeitsaufwand: 4 SWS Vorlesung | Angebot: Sommersemester
Introduction to Micro Systems Engineering
Sprache: Englisch | Arbeitsaufwand: 4 SWS Vorlesung | Angebot: Wintersemester
Inhalt:
Motivation, breite Übersicht über die Funktionsprinzipien der Mikrosysteme (Mikromechanik, Mikroaktorik, Mikrofluidik, Mikrooptik) - wie unterscheidet sich die Mikrotechnologie von klassischer Technologie, Grundlagen des Reinraums und des Siliziums, Übersicht über Fertigungs- und Charakterisierungsmethoden.
Voraussetzung:
Physik und Chemie auf Oberschul- bevorzugt Leistungskursniveau.
Vorlesungen Master:
Microsystems Processes and Technologies
Sprache: Englisch | Arbeitsaufwand: 3 SWS Vorlesung | Angebot: Sommersemester
Inhalt:
Übersicht über die mikrotechnischen Fertigungsprozesse und Charakterisierungstechnologien, sowohl relevant für Mikrosystemtechnik als auch für Halbleiterelektronik.
Voraussetzung:
breites Wissen der Grundlagen der Physik und insbesondere auch Chemie
Micromechanics
Sprache: Englisch | Arbeitsaufwand: 2 SWS Vorlesung + 2 SWS Übung | Angebot: Wintersemester
Inhalt:
Grundlagen der Festkörpermechanik und Balkentheorie; Mikroaktoren (elektrostatisch, magnetisch, Piezo, thermisch, elektroaktive Polymere, Formgedächtnislegierungen); Grundlagen der Mikrofluidik, Tropfenbildung und Elektrobenetzung. Schwerpunkt ist die Entwicklungs- und Entwurfsmethodik neuer Funktionsprinzipien.
Voraussetzung:
breites Wissen der Physik, Grundlagen von Geometrie und Mathematik
Micro optics
Sprache: Englisch | Arbeitsaufwand: 2 SWS Vorlesung + 2 SWS Übung | Angebot: Wintersemester
Inhalt:
Umfassende Optikvorlesung, ausgerichtet auf Themen der Mikrooptik. Wellen- und Fourieroptik, optische Materialien, Schichtsysteme, geometrische Optik/Abbildungen/Abbildungsfehler, Wellenleiter/mikrooptische Elemente, photonische Kristalle, adaptive optische Elemente/Wellenfrontsensor, diverse interferometrische optische Systeme.
Voraussetzung:
Mathematik. Diese Vorlesung ist verhältnismäßig mathematisch anspruchsvoll, sichere Kenntnisse im Umgang mit Fourier Transformationen und dem Lösen von Differenzialgleichungen werden vorausgesetzt.
Seminare Master:
Applications of Microsystems in Medical Engineering
Sprache: Englisch | Arbeitsaufwand: 2 SWS Seminar | Angebot: Sommersemester
Vertiefungsseminar, speziell für den Studiengang Medical Systems Engineering.
Voraussetzung:
mindestens ein Mikrosystemtechnik-Vorlesungsmodul
Applications of microsystems engineering
Sprache: Englisch | Arbeitsaufwand: 2 SWS Seminar | Angebot: Sommersemester
Vertiefungsseminar, alle anderen Studiengänge.
Voraussetzung:
mindestens ein Mikrosystemtechnik-Vorlesungsmodul