Lehrveranstaltungen

Vorlesungen Bachelor:

Mikrosystemtechnik

Sprache: Deutsch | Arbeitsaufwand: 4 SWS Vorlesung | Angebot: Sommersemester

Introduction to Micro Systems Engineering

Sprache: Englisch | Arbeitsaufwand: 4 SWS Vorlesung | Angebot: Wintersemester

Inhalt: 
Motivation, breite Übersicht über die Funktionsprinzipien der Mikrosysteme (Mikromechanik, Mikroaktorik, Mikrofluidik, Mikrooptik) - wie unterscheidet sich die Mikrotechnologie von klassischer Technologie, Grundlagen des Reinraums und des Siliziums, Übersicht über Fertigungs- und Charakterisierungsmethoden.

Voraussetzung: 
Physik und Chemie auf Oberschul- bevorzugt Leistungskursniveau.

Vorlesungen Master:

Microsystems Processes and Technologies

Sprache: Englisch | Arbeitsaufwand: 3 SWS Vorlesung | Angebot: Sommersemester

Inhalt: 
Übersicht über die mikrotechnischen Fertigungsprozesse und Charakterisierungstechnologien, sowohl relevant für Mikrosystemtechnik als auch für Halbleiterelektronik. 

Voraussetzung:
breites Wissen der Grundlagen der Physik und insbesondere auch Chemie

Micromechanics

Sprache: Englisch | Arbeitsaufwand: 2 SWS Vorlesung + 2 SWS Übung | Angebot: Wintersemester

Inhalt: 
Grundlagen der Festkörpermechanik und Balkentheorie; Mikroaktoren (elektrostatisch, magnetisch, Piezo, thermisch, elektroaktive Polymere, Formgedächtnislegierungen); Grundlagen der Mikrofluidik, Tropfenbildung und Elektrobenetzung. Schwerpunkt ist die Entwicklungs- und Entwurfsmethodik neuer Funktionsprinzipien.

Voraussetzung:
breites Wissen der Physik, Grundlagen von Geometrie und Mathematik

Micro optics

Sprache: Englisch | Arbeitsaufwand: 2 SWS Vorlesung + 2 SWS Übung | Angebot: Wintersemester

Inhalt: 
Umfassende Optikvorlesung, ausgerichtet auf Themen der Mikrooptik. Wellen- und Fourieroptik, optische Materialien, Schichtsysteme, geometrische Optik/Abbildungen/Abbildungsfehler, Wellenleiter/mikrooptische Elemente, photonische Kristalle, adaptive optische Elemente/Wellenfrontsensor, diverse interferometrische optische Systeme.

Voraussetzung:
Mathematik. Diese Vorlesung ist verhältnismäßig mathematisch anspruchsvoll, sichere Kenntnisse im Umgang mit Fourier Transformationen und dem Lösen von Differenzialgleichungen werden vorausgesetzt.

Seminare Master:

Applications of Microsystems in Medical Engineering

Sprache: Englisch | Arbeitsaufwand: 2 SWS Seminar | Angebot: Sommersemester

Vertiefungsseminar, speziell für den Studiengang Medical Systems Engineering.

Voraussetzung:
mindestens ein Mikrosystemtechnik-Vorlesungsmodul

Applications of microsystems engineering

Sprache: Englisch | Arbeitsaufwand: 2 SWS Seminar | Angebot: Sommersemester

Vertiefungsseminar, alle anderen Studiengänge.

Voraussetzung:
mindestens ein Mikrosystemtechnik-Vorlesungsmodul

Letzte Änderung: 15.04.2026 -
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